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세계 최초 ‘디지털 노광장비 핵심 기술’ 개발 성공

정부와 국내 대·중소기업 및 학계가 공동으로 디스플레이 생산공정의 핵심장비인 ‘8세대급 디지털 노광기’의 핵심 기술을 개발하고 향후 본격적인 국산화에 나서기로 하였다. 
노광기란 FPD(Flat Panel Display;평판디스플레이) 제조 공정 중 가장 핵심을 차지하는 장비로서 포토마스크에 빛을 쪼여 유리기판에 회로를 형성해주는 장비이다. 

노광공정은 FPD 제조 공정 중 비용 및 시간적 측면에서 30~40%이상을 차지하는 최고 핵심 공정이며, 그간 일본(니콘, 캐논 등) 등 선진국에서 장비를 전량 수입하였다. 
핵심공정 중 노광공정이 차지하는 비중은 2008년 17%, 2010년 24%,2012년 33%로 급증했다. 
연간 국내 디스플레이 노광장비 수입 규모은 연평균 2008~2012년 사이 5억 8천 만 달러를 기록했다.
노광기는 기술 수준이 매우 높고, 외국 장비기업의 엄격한 통제로 인해 기술 접근이 어려워 디스플레이 5대 핵심 장비 중 유일하게 국산화에 성공하지 못 한 장비이다. 

아울러, 산업부는 이 기술개발로 인해 세계 최고수준인 국내 디스플레이 산업기술 및 Know-how가 외국 장비기업을 통해 경쟁국에 유출되는 위험을 방지할 수 있을 뿐만 아니라 향후 국산 노광장비의 수출효과도 기대할 수 있다고 전망했다. 
특히, 이번에 개발된 기술은 기존의 아날로그 방식이 아닌 디지털방식으로 개발된 세계 최초의 대형 노광기술로서 기술 자립화 및 원가 절감에 따른 가격 경쟁력 향상효과도 기대된다. 

즉, 아날로그 노광기의 핵심부품인 Mask를 디지털화시킨 것이 이 기술의 핵심인 바, ‘필름 카메라 → 디지털 카메라’로 진보한 것과 같이 기존 기술 대비 공정기간 단축 및 원가절감의 효과가 매우 클 것이다. 

또한, Maskless 기술은 패턴 설계 후 즉시 테스트 및 생산이 가능하여 신속한 제품 개발에도 유리하며, 비용절감, 개발시간 단축 등 경쟁국 대비 유리한 공정조건 선점이 가능할 것으로 기대한다. 

이 연구에는 삼성전자, LG전자, 코아시스템즈, 풍산시스템, 에버테크노, 연세대 등 21개 산·학·연 관련 기관이 참여하였다. 

특히, 경쟁관계인 삼성과 LG가 협력관계로 참여하여 차세대 디스플레이 기술에 대한 공동 대응체계를 확보하였다는 점과 중소기업에 대한 세계 최초 기술의 이전이 성공적으로 이루어졌다는 점은 주목할 만한 성과이다. 

향후 산업통상자원부는 디지털 노광 기술의 자립과 세계 최고 기술력 유지를 위하여 관련 부품의 자급체계 및 상용화를 위한 인프라 구축 등을 지속 지원할 계획이다.
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